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半价椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪

  • 型   号:LDX-SGC-1A
  • 价   格:

椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号:LDX-SGC-1A
技术指标:
编号
名称
参数
1
测量范围
1nm-300nm
2
测量Z小值
≤1nm
3
入射角
30°~90°误差≤0.1°

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椭圆偏振测厚仪    椭圆测厚仪   

型号:LDX-SGC-1A

技术指标:

 

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量Z小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标Z小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg

 

 

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