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厂家电容电压特性测试仪
在集成电路特别是MOS电路的生产和开发研制中,MOS电容的C-V测试是极为重要的工艺过程监控测试手段,通过C-V测试达到优化生产过程中的工艺参数,提高IC成品率。 MOS(金属-氧化物-半导体)结构的电容是外加偏置电压的函数,MOS电容随外加电压变化的曲线称之为C-V曲线(简称C-V特性)。
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